Aerogen Systems

概要

Aerogen Systemsは、半導体製造の未来をつくっている。

チップはかつてないほど高度になり、内部の構造はますます微細化している。ところが、その製造を支えるクリーンルームのインフラは同じペースで進化してこなかった。Intel、TSMC、Samsungなどは巨大なクリーンルームの建設と運用に数十億ドルを費やしながら、最先端のウェハーをできるだけ周囲の設備から隔離している。

この構造は本末転倒だと考えている。建物全体をきれいにするのではなく、装置そのものを限りなくクリーンにすればいいのではないか。

「Talos」は、装置に組み込む独自の浄化システムだ。半導体製造装置の内部に直接設置され、空気中の分子状汚染物質をウェハーに届く前に絶えず分解する。超高純度の窒素を装置に流し続けて汚染と戦う代わりに、Talosは装置内の環境を10〜100倍クリーンに保ち、しかも莫大なパージガス代がかからない。

Talosはそれ単体でも強力だが、はるかに大きな構想の土台でもある。それが「Cleanpipe」だ。

Aerogen SystemsのCleanpipeは、ファブ内で装置から装置へと移動するウェハーを守る、超クリーンな接続インフラだ。工場のあらゆる空間を数十億ドルのクリーンルームで守るのではなく、本当に清浄度が必要な場所、つまりウェハーの周囲だけに管理された環境をつくる。

Talosが装置をきれいにし、Cleanpipeがそれらをつなぐ。いずれはクリーンルームそのものをなくし、はるかに少ないインフラで、より高度なチップをより大規模につくる。Cleanpipeが装置同士をつなげば、半導体工場はどこにでも建てられる。

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